滑竿式单温区PECVD系统

这款TL1200 滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统，是在PECVD系统上安装一对滑轨，可用手动滑动系统。加热和冷却速率更大可达100°C/min。为取得快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。

     这款TL1200滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，炉管两端采用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa， 该系统使用方便，操作简单，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。

滑竿式单温区PECVD系统产品描述：

该炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能，该炉底部安装了一对滑轨，可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。加热和冷却速率更大可达100°C/min。为取得快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S，是低成本快速热处理的理想炉。

滑竿式单温区PECVD系统技术参数：

1.温控方式：智能化30段可编程控制            2.更高温度：1200℃                 3.电压：220V

4.额定温度：1150℃                           5.热电偶：K型                      6.加热段长：400mm

7.加热元件：瑞典Kanthal-A1电阻丝                                

8.升温速率：≤20℃/min   推荐升温速率：≤10℃/min      

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font>通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高所需的温度更低。