TL1400双温区CVD系统

本公司生产的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列电阻炉均采用双层壳体结构，标配30 段程序控温系统，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、 升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的理想产品。

全系列电阻炉组件配置：

一、TL1400双温区CVD系统控温仪表： 采用宇电程序控温仪表。（可选配日本岛电，英国欧陆等进口品牌）

1、30段程序控温智能PID调节。（可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表）

2、具有过温保护、断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路会自动切断，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能。

二、TL1400双温区CVD系统开门保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者。

三、炉膛材料： 采用氧化铝多晶纤维材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件：  采用优良的加热元件， 温场均衡、使用寿命长。      

五、漏电保护功能： 该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统（选购）：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

七、控制系统：1、电器：正泰，   2、可控硅：德国西门康106/16E，  3 触发器：移相触发。

八、选配件：1、50段程序控温，   2、液晶触摸屏控制器或进口温度控制器      3、炉膛尺寸可定做    

4、可增加进气、排气阀门   5、炉膛材料可选进口材料   6、可选UL认证电器板  

7、电器部分可选配ABB产品  8、可根据客户需求定做各种非标型号产品

本公司承接各种要求的非标炉子的定做，欢迎来电咨询。联系电话13602195903邹经理，微信同号。

TL1400双温区CVD系统产品描述：

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。双温区的管式炉每个温区可以独立控制、设置不同的温度。供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

TL1400双温区CVD系统技术参数：

1.型号：TL1400-C-I   ‚TL1400-C-II      

2.炉管长度：Φ60X1200mm ‚Φ80X1200mm                

3.高温度：1400℃                         4.额定温度：1350℃

5.功率：7KW                               6.电压：220V                                          

7.各温区加热段：210mm+210mm               8.热电偶：S型  

9.升温速率：≤10℃/min                

10.加热元件：硅碳棒                

11.温控方式：智能化30段可编程控制